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產品名稱：Harrick PDC－32G－2 產品編號：產品規格： |
型號規格：PDC—32G－2
整機規格：8.5×10×8（長×寬×高）英寸 (216×254×203)mm
反應艙規格：Φ3×L6.5英寸耐熱玻璃 (Φ76×L165)mm
反應艙有效容積：0.75L
輸入電源：220 V／50Hz
整機輸入功率：100 W
射頻輸出檔：低檔680V DC、10mA DC、6.8W/中檔700V DC、15mA DC、10.5W/高檔720V DC、25mA DC、18W
常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
特征：緊湊的臺式設備，應用一個**功率為18瓦的RF線圈，沒有RF幅射，符合CE安全標準。艙蓋可拆卸。
選配件：石英等離子清洗艙
提供各自計量兩種不同氣體進氣和監測壓力的氣體計量混合器Plasma FloTM
需要：兼容的真空泵，*小速率為1.4 m3/hr，**極限為200 MTorr
包括：1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力
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