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桌面型納米印系統(tǒng),優(yōu)異的設(shè)計理念,專門針對大學(xué)實驗室、研究所微納米加工研究設(shè)計,配備精密的溫度控制和低壓控制系統(tǒng),使用方便,性能穩(wěn)定可靠;同時配合專業(yè)設(shè)計的壓印模板,可實現(xiàn)各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;
主要特點:
1.桌面型設(shè)計;
2.熱壓印技術(shù);
3.UV壓印技術(shù);
3.模板整合溫度控制;
4.快速升溫、快速降溫,大大縮短熱循環(huán)加工周期;
5.低壓控制技術(shù);
6.自動壓入、脫模設(shè)計;
7.適用于各種微納米加工研究(2inch~4inch,其他定制);
8.特征線寬小于20nm;
安裝要求:
1.真空0.4 to 0.8 bar(實驗室真空要求),流速至少1mL/min;
2.壓縮空氣或壓縮氮氣6-10 bar;
3.電源:110-240V (50-60 Hz, larger than 200W);
暫無數(shù)據(jù)!