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1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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上海

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司)

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簡(jiǎn)介

1200℃加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長(zhǎng)雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐,多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),高真空分子泵系統(tǒng)等組成。可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù),使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu)

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

雙層殼體結(jié)構(gòu),內(nèi)置風(fēng)冷層,有效降低外殼表面溫度

爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用;

加熱區(qū)長(zhǎng)度:350mm*2;

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:450mm;

工作溫度:≤1150℃;

**溫度:1200℃;

升溫速率:推薦≤10℃/min;

*快升溫速度30℃/min.

溫控系統(tǒng)

日本富士?jī)x表,64段控溫程序,可分步、分段;

測(cè)溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì),流量規(guī)格0.3-3L/min

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa

復(fù)合真空計(jì)顯示,配置電阻規(guī)+電離規(guī)

抽速:110L/s,風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu)

配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥

可選配件

冷水機(jī),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件等

保修期

整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)

可根據(jù)客戶(hù)要求定制!

特色與優(yōu)勢(shì)

1.加長(zhǎng)雙溫區(qū)爐體,大大加長(zhǎng)了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性;

2.開(kāi)啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質(zhì)量流量計(jì),數(shù)字顯示精確控制氣體流量;

4.雙極旋片真空泵+分子泵,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa;

5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),可滿(mǎn)足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求;

6.內(nèi)置S型熱電偶,可快速、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物料的溫度變化情況;

7.尾氣活性炭過(guò)濾處理,減少反應(yīng)氣體排放對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
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