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振動拋光機作為常規拋光手段的有效補充，可以去除樣品表面的微小變形，使樣品表面無應力，適用于如EBSD（背散射電子衍射），AFM （原子力顯微鏡）分析和納米壓痕或顯微硬度測試的樣品制備。
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