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PE-75等離子體表面處理儀
PE-75等離子體表面處理儀

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美國

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邁可諾技術有限公司

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PE-75等離子體清洗機作用于材料表面,使表面分子的化學鍵發生重組,形成新的表面特性,對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子體表面處理儀的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

* 清洗晶體、天然晶體和寶石;

* 清洗半導體元件、印刷線路板;

* 清洗生物芯片、微流控芯片;

* 清洗沉積凝膠的基片;

* 高分子材料表面修飾;

* 牙科材料、人造移植物、醫療器械的消毒和殺菌;

* 改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

等離子體表面處理儀技術參數:

設備型號:PE-75

腔體尺寸:圓柱形腔體,內徑10.75英寸(273mm)x深度10英寸(254mm);

腔體材質:T-6鋁合金一體成型;

腔體容積:13.8升;

射頻電源:13.56MHz;0~150W自動調節;

工作壓力范圍:1-2000 mT;

氣體流量控制:0-25cc/min帶精密針閥;

皮拉尼真空計: 0-1Torr;

選配:

1、400W,50KHz;

2、100W,13.56 MHz;(自動匹配網絡);

3、300W,13.56 MHz;(自動匹配網絡);

4、Venus PC控制功能,可以通過MFC控制氣體;

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10分

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10分

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10分

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10分
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