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M-HP 200 Hotplate加熱板
M-HP 200 Hotplate加熱板

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介紹:

M-HP 200熱板用于烘烤和回火加熱晶圓片或基板。該熱板適用于直徑**為8英寸的晶圓片或**6英寸 x6英寸的襯底。內置模塊可輕松用于濕式工作臺。工藝參數(溫度,加熱時間)可以隨時更改。 熱板溫度可在20°C250C之間調節。可在1999秒之間設置處理時間。

產品參數:

型號:M-HP 200 Hotplate熱板

處理尺寸:直徑**8英寸晶圓**6 英寸x6英寸基板

溫度范圍:20°C250°C可調

功率:600

加熱時間:19999

熱板表面安全蓋材質:不銹鋼

不帶蓋的熱板尺寸:約350mm x 350mm x 200mm

控制器的尺寸:約135mm x 145mm x 95mm

臺式柜的尺寸:約 460mm x 360mm x 325mm

重量:約200

主營產品:

Laurell勻膠機

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統,濕站系統

Wabash/Carver自動壓片機

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10分

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