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Instec
來自液晶先驅院校美國科羅拉多大學的精密溫控裝置與液晶檢測設備
功能特點 |
可編程精密控溫。可獨立控制，也可從上位機軟件控制 |
帕爾貼原理溫控，使用時無需耗材 |
適用**100 mm尺寸晶圓 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓 |
尺寸超薄，可集成進探針臺 |
可快速裝載晶圓的凸起結構臺面 |
軟件可拓展性強，可提供LabView等語言的SDK |
#升級項# 性能可升級，詳見 配置列表 |
可做改動或定制，詳詢上海恒商 |
技術參數 | ||
通 用 參 數 | 溫度分辨率 | 0.001℃ |
溫度穩定性 | ±0.05℃(at 100℃)可提升穩定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm 可升級均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時 | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質RTD | |
溫控方式 | 直流式PID (變直流形式(LVDC)輸出) | |
*其他技術參數請參考 型號規格表 | ||
配置列表 | ||
標 準 | TC102S溫控晶圓夾盤 | 選1 |
TC104S溫控晶圓夾盤 | ||
mK2000溫度控制器 軟件免費，控制線有多種接口供選 | √ | |
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環防止外殼過熱 | √ | |
升 級 | 提升熱臺的**溫度 | |
選 配 | 固定支架 把夾盤固定在使用平臺上，防止滑動 | |
溫控聯動顯微鏡相機 溫度-圖像聯動工作，附軟件 | ||
*注：產品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
型號規格表 | ||||
型號 | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | **制熱速度 |
TC102S | 40 mm | 8 mm ~ 40 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃/分鐘(at 37℃) |
TC104S | 40 mm | 8 mm ~ 100 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃ /分鐘(at 37℃) |
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