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Instec
來自液晶先驅院校美國科羅拉多大學的精密溫控裝置與液晶檢測設備
功能特點 |
可編程精密控溫。可獨立控制，也可從上位機軟件控制 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓 |
尺寸超薄，可集成進探針臺 |
適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓 |
軟件可拓展性強，可提供LabView等語言的SDK |
#升級項# 性能可升級，詳見 配置列表 |
#選擇項#臺面為電接地 / 電懸空 |
#可選項#臺面開設用于起模頂桿的孔洞，可快速卸下樣品 |
#可選項# 下盤面的真空吸氣槽，用于將卡盤固定在實驗平臺上 |
可做改動或定制，詳詢上海恒商 |
技術參數 | ||
通 用 參 數 | 溫度分辨率 | 0.001℃ |
溫度穩定性 | ±0.05℃(at 100℃)可提升穩定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm 可升級均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時 | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質RTD | |
溫控方式 | 開關式PID 可升級為LVDC式PID | |
*其他技術參數請參考 常用型號選型表 | ||
配置列表 | ||
標 準 | 溫控晶圓夾盤（圓形） | 選1 |
mK2000溫度控制器 軟件免費，控制線有多種接口供選 | √ | |
升 級 | 從 BNC同軸接口 升級為Triaxial三同軸接口 三同軸的漏電流和電噪聲更小，可測皮安級微弱信號 | |
選 配 件 | 液氮制冷系統 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負溫 | |
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環防止外殼過熱 | ||
固定支架 把夾盤固定在使用平臺上，防止滑動 | ||
溫控聯動顯微鏡相機 溫度-圖像聯動工作，附軟件 | ||
線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音 | ||
*注：產品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
常用型號選型表 | ||||
型號(字母T表示三軸接口) | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | **制熱速度 |
HCC206R/HCC206RT | 150 mm | 12 mm ～ 152 mm | -100℃ ～ 200℃ | +60℃/分鐘(at 100℃) |
HCC306R/HCC306RT | -100℃ ～ 310℃ | |||
HCC208R/HCC208RT | 200 mm | 40 mm ～ 203 mm | -80℃ ～ 200℃ | +50℃/分鐘(at 100℃) |
HCC308R/HCC308RT | -80℃ ～ 310℃ | |||
HCC20CR/HCC20CRT | 300 mm | 95 mm ～ 304 mm | -60℃ ～ 200℃ | +30℃/分鐘(at 100℃) |
HCC30CR/HCC30CRT | -60℃ ～ 310℃ | |||
*注：液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知。 夾盤上下表面的獨立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮 | ||||
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