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型號 | APD-SL-20X30 | APD-SL-30X40 | APD-SL-40X100 | APD-SL-50X100 | APD-SL-60X100 |
使用空間 (mm) | Φ200×300 | Φ300×400 | Φ400×1000 | Φ500×1000 | Φ600×1000 |
**容積（L） | 9 | 28 | 125 | 196 | 282 |
加熱功率 | 100 KW | 160 KW | 200 KW | 250 KW | 300 KW |
頻率 | 2000 Hz | 2000 Hz | 2000 Hz | 1500 Hz | 1500 Hz |
**工作溫度 | 3000°C | ||||
溫度均勻性 ( 在 1000°C和2200°C間) | ±10°C | ||||
極限真空度 | 1.2×10-3 mbar | ||||
可選高真空 | 5×10-5 mbar | ||||
**升溫速率 | 15°C/min (RT~1500°C), 10°C/min (1500°C~2500°C), 5°C/min (2500°C~3000°C) | ||||
壓力上升 | 6.7×10-3 mbar/hr | ||||
工作氣氛 | 高真空（可選）/ 真空/ 惰性氣體（氬氣或氮氣） 真空和高真空氣氛僅允許在 2200°C以下 | ||||
供電 | 3P, 380V, 50Hz/60Hz | ||||
冷卻水壓力 | 1.5～2.5 bar | ||||
冷卻水溫度 | ≤28 °C | ||||
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