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· 高真空系統：真空系統由真空泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、滑閥泵、擋板閥；根據用戶真空度要求選型。湖南
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· 氣體凈化系統
· 閉環冷卻水系統
· 可控硅電源/IGBT電源
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