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技術參數：

測量模式： STM/ AFM (接觸 + 輕敲+非接觸)/ 橫向力/ 相位/ 力調制/力譜/粘附力/ 磁力/靜電力/ 開爾文/ 擴展電阻/納米壓痕/納米刻蝕: AFM (電壓刻蝕 + 力刻蝕)

掃描方式：樣品掃描

測量頭部：AFM和SPM（全內置自動切換），可選配液相模式和納米壓痕測量頭

**樣品尺寸：直徑20mm，厚度10mm

XY樣品定位裝置：移動范圍5×5um，軟件控制電動定位

XY樣品定位裝置*小步進：0.3um

掃描范圍：100×100×10um（三維全量程閉環控制掃描器），3×3×2um（低電流模式掃描器）

XY方向非線性度：≤0.1%（閉環控制掃描器）

Z方向噪音水平（帶寬10~1000Hz時的RMS值）：閉環控制掃描器（典型值0.03nm，**0.04nm），低電流模式掃描器（0.02nm）

激光光路系統：電動調節，全自動準直

視頻顯微系統：軟件控制電動變焦和連續變倍，軟件控制變換視野，分辨率2um

樣品溫度控制：室溫~150℃

主要特點：

全自動化桌面型SPM

直觀易用的軟件界面

全自動切換AFM和STM掃描頭

自動調整激光光路（懸臂—激光—四象限光電探測器）

軟件控制的電動樣品定位平臺

視頻顯微鏡系統軟件控制電動聚焦和變倍

視頻顯微鏡系統軟件控制定位樣品觀察視野

電動開關樣品室門

切換不同的測量模式，軟件自動調節**參數

人體工程學設計