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壓電響應力原子力（PFM）是在原子力顯微鏡（AFM）的基礎上，用導電探針在壓電材料上進行測試，得到納米尺度的壓電場機壓電分布。具有分辨率高，掃描速度快等特點。
PFM可以應用到如下領域：
1.鐵電材料。
2.半導體材料
3.生物材料
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