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一、高溫原位納米壓痕儀簡介

InSEM HT產品可以在真空環境下對小體積材料進行各種高溫原位力學測試（室溫~800℃），可以實時觀察材料在高溫下的形貌變化，進而獲取更多關于材料在高溫下的機械性能。InSEM HT（高溫）通過在真空環境中單獨加熱尖端和樣品來測量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM®HT與掃描電子顯微鏡（SEM）和聚焦離子束（FIB）或獨立真空室兼容。附帶的InView軟件可以協助開發新的實驗。科學出版物表明，InSEM HT結果與傳統大型高溫試驗數據吻合。廣泛的溫度范圍使InSEM HT成為開發研究材料的一個非常有價值的工具。

二、 功能

• 主要功能

  The CSM technique involves oscillating the probe during indentation to measure properties as a function of depth， force，time， or frequency. The option comes with a constant strain rate experiment that measures hardness and modulus as a functionof depth or load， which is the most common test method used across academia and industry. CSM is also used for other advancedoptions， including the ProbeDMA™ method for storage and loss modulus measurements and AccuFilm™ substrate-independent measurements.The CSM is integrated into the InQuest controller and InView software to deliver unparalleled ease of use and data quality

• 連續剛度測量（CSM）

CSM技術在壓痕過程中測量深度、力、時間或頻率變化的力學性能。該方案采用恒定應變速率試驗，測量硬度和模量作為深度或載荷的函數，是學術界和工業界*常用的試驗方法。CSM還用于其他高級測試，包括存儲和損耗模量測量的ProbeDMA™方法和AccuFilm™基底獨立測量。

NanoBlitz3D

NanoBlitz 3D利用Inforce 50加載器采用玻氏壓頭測量高E（>3Gpa）材料的三維測量圖。NanoBlitz壓痕小于1個點/ s，*多10萬個壓痕（300x300陣列），并提供每個壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統計的準確性。NanoBlitz 3D還提供可視化軟件和數據處理功能。

AccuFilm™薄膜方法包

AccuFilm™薄膜方法包是一種基于Hay-Crawford模型的全新測試方法，使用連續剛度測量（CSM）測量基底材料的獨立特性。AccuFilm™修正了基底對軟基板上硬薄膜以及硬基底上軟薄膜測量的影響。

ProbeDMA™聚合物方法包

聚合物包可以測量聚合物的模量對頻率的函數。該測試包括平沖頭、粘彈性參考材料和評價粘彈性性能的試驗方法。這種測量技術是表征納米聚合物和聚合物薄膜的關鍵技術，而傳統的DMA測試儀器無法很好地測試這些薄膜。

劃痕磨損試驗功能

劃痕試驗在以規定速度穿過樣品表面時，向壓頭施加恒定或傾斜載荷。劃痕試驗可以表征許多材料系統，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。

Gemini 2D多軸傳感器

Gemini 2D多軸技術將相同的標準壓痕功能帶到第二個橫軸上，同時沿兩個方向軸運行。該**技術有助于深入了解材料特性和失效機制，可以測量泊松比、摩擦系數、劃痕、磨損、剪切等參數。

• 技術特點

  KLA InSEM HT產品：先進的激發器的結構設計，完全實現載荷和位移的分別控制和探測，**實現納米壓痕檢測，包括動態力學測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

  符合ISO14577的國際標準的壓痕測試

  InSEM HT動態測試附件是由連續剛度**技術的發明人研發的：動態力 學測試原理為在準靜態加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載 荷、時間或者頻率的變化材料力學性能的變化。

  NanoBlitz3D技術，提供每個壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統計的準確性，自動生成楊氏模量、硬度和剛度Mapping圖，是研究非均相材料研究的重要方法。

• 技術能力