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| 設備參數
適用陶瓷盤 | Φ360mm * 15mm、Φ305mm * 15mm | |
適用晶片 | 4 inch、6 inch | |
拋光機下盤 | 尺寸 | Φ872mm |
材質 | 不銹鋼盤&拋光墊 | |
電機功率 | 7kw | |
轉速范圍 | 5～200rpm | |
*小轉速控制量 | 1rpm（觸摸屏中設定） | |
冷卻 | 水冷式冰水機（8P） | |
盤溫控制 | 0℃～50℃ | |
修盤方式 | 人工調節，伺服自動修盤 | |
拋光機上盤 | 控制方式 | 2軸獨立控制，自動停止加工 |
拋頭材質 | SUS410（可按客戶要求定做） | |
加壓氣缸 | Φ100mm | |
壓力范圍 | 0～500kg | |
控制精度 | ±1kgf（觸摸屏中設定） | |
電機功率 | 0.75kw | |
轉速范圍 | 5～200rpm | |
*小轉速控制量 | 1rpm（觸摸屏中設定） | |
拋光液供應系統 | 供給方法 | 循環泵（流量可以調節并實時監控） |
拋光液灌容量 | 20L（冷卻、攪拌） | |
供液位置 | 中心供液 | |
補液方式 | 人工補液 | |
陶瓷盤固定 | 半自動上料裝置，陶瓷盤定位載具 | |
去除率 | 具體視工藝及材料而定 | |
設備尺寸 | W2200mm * L2250mm * H2100mm | |
設備重量 | 約5000Kg | |
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