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| 設備概述
全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading、晶圓機械手、刷洗、甩干單元等單體組成，通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉移到刷洗工位，通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體、純水刷洗，清除晶片表面的微小粒子。
| 應用領域
應用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）等半導體材料的刷洗，同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。
| 設備特點
? 晶圓機械手傳輸晶片過程精度高、穩定性高。
? 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
? 自動化操作無人工干預，避免二次污染。
? 全封閉刷洗環境，避免環境污染。
? 雙刷洗工位，有效提高生產效率。
? 實現干進干出的加工方式。
| 可選配置
? 兆聲波發生器
? 濕進干出裝置
? 翻轉裝置，實現單面轉雙面刷洗
| 設備參數
型號 | CX-S6F | CX-S8F | |
上料工位 | 晶片尺寸 | 4、6寸 | 6、8寸 |
數量 | 2 | 2 | |
感應裝置 | 包含 | 包含 | |
傳輸系統 | 傳輸方式 | 晶圓機械手 | 晶圓機械手 |
清洗、甩干單元 | 數量 | 2 | 2 |
藥液噴灑裝置 | 3 | 3 | |
刷洗方式 | PVA毛刷 | PVA毛刷 | |
固定方式 | 卡爪/真空吸附 | 卡爪/真空吸附 | |
甩干方式 | 高速旋轉 | 高速旋轉 | |
下料工位 | 數量 | 2 | 2 |
感應裝置 | 包含 | 包含 | |
控制系統 | 系統 | PLC | PLC |
顯示 | 10.4寸彩色觸摸屏 | 10.4寸彩色觸摸屏 | |
廠務 | 電源 | AC220V 50Hz | AC220V 50Hz |
尺寸 | W1230mm * L1850mm * H2050mm | W1230mm * L1850mm * H2050mm | |
重量 | 約700Kg | 約700Kg | |
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