測量范圍：
115-400nm，根據光柵型號選擇誤差率：
-分辨率：
<1nm重現性：
-儀器原理：
其他分散方式：
-測量時間：
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CT型真空紫外光譜儀，采用Czerny-Turner光學結構 ，可以在空間上將復?光分成?系列單色光，系統由平面衍射光柵、前后準直聚焦鏡及CCD探測器組成。
● ?光譜分辨
● 在線精密可調狹縫
● 遠程激光瞄準定位
● 結構緊湊集成度?
● ?真空兼容
●光學系統結構 ：CT型
● 焦距：270mm，可定制調節
● 光譜范圍：115-400nm，根據光柵型號選擇
● 狹縫寬度： 5-300μm在線連續可調
● 波?精度： ±0.05nm@230nm
● 光譜分辨：<1nm
● 系統接收?：f/#=4.0
● 系統真空度： 10-3 Pa
選配范圍:
光譜儀型號 | 線密度(l/mm) | 波長范圍(nm) | 線色散(nm/mm) |
vuSpeC-CT-901 | 3600 | 215~240 | 1.00 |
VuSpeC-CT-902 | 2400 | 210~250 | 1.50 |
VuSpeC-CT-903 | 2100 | 205~255 | 1.70 |
vuSpeC-CT-904 | 1800 | 200~260 | 2.00 |
VuSpeC-CT-905 | 1400 | 195~265 | 2.50 |
VuSpeC-CT-906 | 1200 | 190~270 | 3.00 |
vuSpeC-CT-907 | 300 | 115~400 | 11.00 |
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