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| 性能指標 | 單位 | 幄肯牌號 | |
| VU-C-SIC | |||
| 結構 | / | β（立方）3C多型體 | |
| 體積密度 | g/cm3 | 3.2 | |
| 化學計量比 | / | 1:1 SiC | |
| 莫氏硬度 | GPa | 9.2-9.5 | |
| 斷裂韌性 | MPa m1/2 | 3 | |
| 熱膨脹系數100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6 K-1 | 4.2 | |
| 彈性模量 | GPa | 375 | |
| 典型膜厚 | μm | 30-100 | |
| 表面粗糙度 | μm | 1.6 | |
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