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BF220-17NH型高溫氣氛鐘罩爐
BF220-17NH型高溫氣氛鐘罩爐

參考價格

100-150萬元

型號

BF220-17NH

品牌

智熱裝備

產地

合肥

樣本

暫無
合肥智熱裝備有限公司

金牌會員

|

第2年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1650℃
  • 額定溫度:

    1600℃
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    氮氣
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靜電卡盤又稱靜電吸盤(ESC),是半導體設備中價值比較高的部件之一;用于半導體工藝中的硅片夾持,利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來,隨著國家加大半導體領域的投入,我國半導體設備采購額逐年增加,推動了包括靜電吸盤(ESC)在內的核心部件的采購量增長。此外,隨著中國大陸晶圓產能的建設和擴產,中國成為全球晶圓產能增長的重心,帶動國產半導體設備的需求增長,為國產靜電吸盤(ESC)的發展提供了良好的機遇。

陶瓷靜電卡盤由含有置入其內的至少一個電極層的陶瓷圓盤構成,通常使用多層陶瓷共燒工藝進行制備,采用絲網印刷導電漿料(鎢、鉬)在一個或多個陶瓷生坯片(氧化鋁或氮化鋁材質)上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進行疊層共燒后,經過精加工得到陶瓷圓盤。

為解決燒結設備依賴進口的問題,我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結設備制造經驗,結合國外設備的優點,研發制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設備,專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝,有效尺寸達Φ750×H500。




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10分

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10分

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