參考價格
100-150萬元型號
BF220-17NH品牌
智熱裝備產地
合肥樣本
暫無溫控精度:
±1℃最高溫度:
1650℃額定溫度:
1600℃非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
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靜電卡盤又稱靜電吸盤(ESC),是半導體設備中價值比較高的部件之一;用于半導體工藝中的硅片夾持,利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來,隨著國家加大半導體領域的投入,我國半導體設備采購額逐年增加,推動了包括靜電吸盤(ESC)在內的核心部件的采購量增長。此外,隨著中國大陸晶圓產能的建設和擴產,中國成為全球晶圓產能增長的重心,帶動國產半導體設備的需求增長,為國產靜電吸盤(ESC)的發展提供了良好的機遇。
陶瓷靜電卡盤由含有置入其內的至少一個電極層的陶瓷圓盤構成,通常使用多層陶瓷共燒工藝進行制備,采用絲網印刷導電漿料(鎢、鉬)在一個或多個陶瓷生坯片(氧化鋁或氮化鋁材質)上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進行疊層共燒后,經過精加工得到陶瓷圓盤。
為解決燒結設備依賴進口的問題,我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結設備制造經驗,結合國外設備的優點,研發制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設備,專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝,有效尺寸達Φ750×H500。
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近期,中國粉體網開啟第九屆“粉體行業獎項年度評選”活動?!胺垠w行業獎項年度評選”是由中國粉體網聯合北京粉體技術協會于2013年共同發起,是粉體行業最具權威性的獎項之一。為了助推行業邁向更高臺階,202