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富碲垂直液相外延薄膜生長系統品牌
賽瑞達產地
江蘇樣本
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設備特點
◎ 用途:用于 HgCdTe 薄膜材料的液相外延生長
◎基片尺寸:max40mmx60mm
◎ 數量:每管爐次4片;
◎ 反應管內徑:中126mm;
◎ 控溫分區:四區獨立控溫;
◎ **工作溫度:750℃;
◎ 溫度控制精度:≤0.1℃
◎ 恒溫區長度:260mm;
◎ 恒溫區溫度均勻度:±0.2℃(400℃~550℃);
◎ 控溫方式:內控溫和外控溫
◎ *小穩定降溫速率:≤0.1℃/min,±0.1℃
◎ 空載快速降溫速率:550℃-100℃，<90min
◎ 石墨舟:垂直進出反應管，升降自動
◎ 旋轉方向:順時針和逆時針
◎ 旋轉:基片支架可相對石墨舟或坩堝旋轉、浸液升降;
◎ 基片支架浸舟升降行程:>85cm
◎ 基片支架浸舟升降速度:1-10mm/
◎ 基片支架浸舟旋轉速度:0.5-5rmp
◎ 運動部位定位精度:≤0.5mm
◎ 抽速:整機抽到≤5Pa時間≤5min
◎ 整機極限真空:≤5Pa
◎ 真空檢漏靈敏度:1.0x10-12Pa.m3/S
◎壓升率:<25Pa/h
◎ 汞收集:排氣管路具有汞蒸氣冷凝回收冷阱
◎ 工藝過程:計算機全自動控制，人機工程設計，自動運行、操作方便;
軟件要求
系統控制軟件具備自動控制整個工藝流程的能力，設計有相應的等級限制，能夠自主設置控制工藝參數的
知悉范圍:具備手動控制功能，在自動控制出現問題時能手動控制保護熱處理材料及設備。
安全操作
具有H2 泄露檢測，報警、自鎖互鎖、清洗等功能;加熱溫度過熱、檢測、報警和聯鎖;斷水斷電斷氣互鎖等
暫無數據！
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