非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
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主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。
設備特點
◎ 型號:Activate 150
◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:1*10-3mbar
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎全自動化系統和MES服務
產品優勢
◎ 高溫退火活化工藝時間約4小時
◎ 工藝室具備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
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