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電阻式PVT AlN生長設備是自主研發的電阻法加熱晶體生長爐，具有高穩定性、高真空度和精確控制系統的AlN晶體生長系統，適用于商業化批量生長大尺寸AlN晶體，可實現AlN晶體的同質和異質外延生長。
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