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高純石英坩堝用提純電極
產品概述:
用電弧法制的半導體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今,半導體產業和光伏單晶硅產業已普遍采用這種坩堝取代了小的透明石英坩堝,具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。
在電弧法制備石英坩堝中,提純石墨電**有耐高溫、導電、高純度等優點,是目前廣泛使用的導電電極。
技術指標
指標 | KW-RG | KW-HG |
體積密度(g/cm3) | 1.68-1.72 | 1.75-1.80 |
抗壓強度(Mpa ) ≥ | 40 | 45 |
抗折強度(Mpa) ≥ | 20 | 22 |
電阻率( μΩM ) ≤ | 8.5 | 8.0 |
灰分(ppm) | 30-50 | 10-30 |
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