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東海采用CVD法生產的Solid SiC產品被廣泛應用于離子刻蝕等半導體設備中，我們的產品有以下幾大優勢：
1、無熱變形
2、無氣體釋放
3、良好的化學穩定性
4、相比硅材料壽命長
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