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顆粒計數加上業界標準的TOC分析技術為電子制造業的去離子水設施監測和清洗過程提供一體化方案

產品介紹

超純水(UPW)設施以及水清洗系統的顆粒監視和控制, 對越來越多類型的制造工業愈來愈重要. 例如,諸如平板顯示器(FPD)和硬盤驅動器(HDD)部件的精密制造技術的改進要求能測出過程液體中小到0.1μm的污染物顆粒。

Anatel的Ultrapure-100提供去離子水應用中0.1μm顆粒監測的完全集成化的方案. 無論您的要求是查找故障, 監測, 或者是檢核水清洗系統, 或者僅是在您工廠的UPW廠的重要場所進行監測, 您會發現Ultrapure-100是您在線過程分析的一個有效且能承擔的補充儀器。

Ultrapure-100將所有的堅固的光-機械裝置, 計數和通信電子線路以及獨特的流量控制系統都結合在一臺儀器里并達到無可相比的性能. 在高液壓的應用, 諸如去離子水設施監測, 總的系統流速會超過1.0升/分鐘. 這樣就要求非常快的清洗和恢復時間以及優良的流量調節, 甚至是在動態的檢測入口壓力下也如此。

Ultrapure-100是一套完整的系統, 非常容易安裝并與您現有的設施監測系統(FMS)或樓宇管理系統(BMS)結合起來.另外, Ultrapure-100能作為一臺單獨的儀器使用并能與許多軟件包兼容。

Ultrapure-100配套提供易于使用的基于Windows®的組態工具, 使安裝和系統集成快速和方便. 諸如數據通道數量, 采樣周期, 和4-20mA模擬輸出設置能根據特別要求快速組態. 實時系統診斷保證日期完整性不會有問題. 標定完全可追溯到NIST標準。

顆粒計數通常和總有機碳(TOC)測量互補, Anatel是半導體和平板顯示器工業中TOC監測的行業標準. Anatel的TOC分析系統是由一系列模塊化組件組成,能按需組合用于任何水系統. 現在, 有了顆粒計數后, Anatel的儀器測量更進一步, 能保證增加您的高純水傳送系統的效率和產量。

主要性能

• 0.1和0.2μm標準顆粒尺寸

• 可在0.1至5.0μm范圍內定制

• 4-20mA模擬輸出

• 高流速-清洗時間非常快

• 一體化方案, 維護量小

• 優秀的流量調節-“設置完了就可不管了”

• 激光源診斷

• 可提供顆粒計數軟件

性能指標
   

• 粒徑通道(μm)0.1, 0.2

• 系統流速>1 升/分鐘

• 樣品流速100 毫升/分鐘 (樣品入口壓力調整到30至100 psi)

• 光源激光二極管

• 樣品入口壓力不超過100 psig (690 kPa)
                                 不低于 7.0 psig

• 溫度工作  7至40℃
                                 樣品  7至40℃

物理指標
   

• 電源90-260 VAC, 50/60 Hz

• 功耗不大于80VA (100V 時0.8A)

• I/O接口模擬 光電隔離4-20mA 輸出,(標準2通道, 可選4通道)
                         RS-232                        設置時用的串行口
                         電氣I/O連接在儀器的底部, 帶有保

• 顯示2通道或4通道的顆粒計數數據(用戶可選)

• 指示燈電源, 激光情況, 泄漏狀況

• 液體連接SS 1/4" Swagelok (樣品入口和出口)
                          外置流量計

• 外殼涂漆鋁殼

• 尺寸305mm 長 x 203mm 寬 x 190.5 mm 深(12" x 8" x 7.5")

• 相對濕度不超過90%, 不凝露

包含附件
   

• 包括電源裝置, 軟件設置應用程序, 1/4"尼龍樣品和排放管
                             電源線, 操作員手冊

• 可選可選墻壁安裝支架, 數據趨勢軟件
                                       (請致電您的銷售代表以獲得更多信息)