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分辨率最高可達(dá)0.6 nm!國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

分辨率最高可達(dá)0.6 nm!國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X
國儀精測  2023-11-09  |  閱讀:1269

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#NEWS超高分辨場發(fā)射電鏡發(fā)布

近日,國儀量子在2023全國電鏡年會期間發(fā)布了全新的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV,進(jìn)一步夯實(shí)了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)。


深度挖掘用戶需求 全新升級實(shí)現(xiàn)超強(qiáng)性能

國儀量子在服務(wù)客戶時發(fā)現(xiàn),傳統(tǒng)的場發(fā)射掃描電鏡在拍攝一些特殊樣品時會出現(xiàn)成像質(zhì)量不佳的問題。例如,納米材料的導(dǎo)電性較差,樣品的粒徑通常也非常小,觀測難度較高。但隨著科研水平不斷進(jìn)步,對材料的觀測尺度也將不斷縮小,觀測難度愈發(fā)提高。為解決這一難題,國儀量子顯微鏡研發(fā)團(tuán)隊(duì)在調(diào)研用戶需求后,基于深厚的技術(shù)儲備與產(chǎn)品工程化能力,推出了“挑戰(zhàn)極限”的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。


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SEM5000X如何“挑戰(zhàn)極限”?

極限挑戰(zhàn)一:挑戰(zhàn)超高分辨率

SEM5000X在15 kV下分辨率優(yōu)于0.6 nm,1 kV下分辨率優(yōu)于1 nm,成功挑戰(zhàn)了熱場發(fā)射掃描電鏡的極限分辨率。

國儀量子對SEM5000X電子光學(xué)系統(tǒng)中的物鏡部分做了特殊的改進(jìn)優(yōu)化,電透鏡和磁透鏡的重合度進(jìn)一步提高,使得色差減小了12%、球差減小了20%,整體上提升了電鏡的分辨率。


極限挑戰(zhàn)二:不懼高難樣品

在SEM5000X產(chǎn)品設(shè)計(jì)中,增加了樣品臺減速模塊,采用了高壓隧道和樣品臺減速的組合,實(shí)現(xiàn)雙減速技術(shù),能夠挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景。


極限挑戰(zhàn)三:適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境

此外,我們自研了高精度的優(yōu)中心樣品臺,采用了超穩(wěn)定的機(jī)架,還額外設(shè)計(jì)了可屏蔽環(huán)境干擾的全包圍式屏蔽系統(tǒng),使SEM5000X能夠輕松適應(yīng)各種復(fù)雜環(huán)境。


產(chǎn)品優(yōu)勢

SEM5000X

01

超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV


02

樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景


03

高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響


04

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

如果您需要一臺更高性能,更高分辨率的電鏡,那您一定不能錯過超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。


應(yīng)用案例展示

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介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens


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芯片/5 kV/BSED-COMP


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陽極氧化鋁板/10 kV/Inlens


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腎臟切片/5 kV/BSED-COMP


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泡沫鎳/2 kV/ETD-SE


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光刻膠/2 kV/ETD-SE


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藍(lán)寶石襯底/5 kV/ETD-SE


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磁性粉末/10 kV/Inlens


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金顆粒/1 kV/Inlens


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二氧化硅球/3 kV/ETD-SE


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催化劑/1 kV/ETD-SE


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波導(dǎo)/1 kV/ETD-SE

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