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賽默飛(原FEI)Prisma E SEM-環境掃描鎢燈絲電鏡
Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡(SEM),在各種條件下都能有出色的全能性能。基于其低真空和環境掃描的SEM (ESEM)模式,它完全具備分析不導電,含氣體、水分或其它非常規測試的樣品。
發射源:鎢燈絲(高性能電子光學鏡筒,雙陽極熱發射電子槍)
分辨率:
高真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
低真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);4.0 nm@ 3kV(BSE);10nm@ 3kV(SE)
環境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV(SE)
放大倍數:5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)
加速電壓范圍:200V ~ 30kV
探針電流范圍:**可達到2μA,連續可調;
低真空范圍:高達130Pa;
ESEM真空范圍:高達2600Pa(H2O)/4000Pa(N2);
X-Ray工作距離:10mm,EDS檢出角35°
樣品室:從左至右為340mm寬的大存儲空間,樣品室可拓展接口數量12個,含能譜儀接口3個(其中2個處于180°對角位置)
樣品臺:五軸優中心全自動馬達驅動
X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o (連續旋轉)
多用途SEM樣品安裝載物臺,可同時放置 18 個標準樣品座(φ12mm)
**樣品高度不低于200mm
**樣品承重 5 kg
探測器系統:
高真空二次電子探測器ETD
樣品室內IR紅外相機CCD
低真空二次電子探測器LVD
氣體二次電子探測器GSED(環境真空)
控制系統:
操作系統:Windows 10
圖像顯示:24寸LCD顯示器,**顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能
特點與用途
☆ 方便快捷地加載多種樣品和重樣品;
☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機和蒙太奇導航功能簡化樣品導航;
☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能;
☆ 先進的掃描模式和電子束減速確保**的圖像質量;
☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術下進行直觀的元素分析;
☆ 專用真空模式,具備強大的樣品兼容性;
☆ 獨特的環境掃描模式能夠在材料的自然狀態下成像;
☆ 可集成冷/熱臺進行易于控制的動態實驗;
☆ 廣泛選擇的探測器和附件,包括掃描透射電 (STEM)、陰極發光、圖像拼接等
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