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【大塚新品】高速測量極薄膜——顯微分光膜厚儀“OPTM”
大塚電子(蘇州)有限公司 2023-09-05 點擊1168次
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顯微分光膜厚儀“OPTM”
OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀,測試膜厚、折射率n、消光系數k、絕對反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試,并有獨家專利可針對透明基板去除背面反射,從而達到“真實反射率、膜厚”測試的目的。此外,軟件操作簡單、使用方便且簡化了復雜的建模流程。
OPTM光學膜厚儀可高速測量極薄膜(1nm~92um),對樣品非接觸、非破壞測量,1秒即可獲取結果。搭載自動平臺Mapping測量膜厚分布。應用于半導體材料(硅晶圓、氧化膜、氮化膜、第3代半導體、光刻膠)、功能膜(AR、硬涂層、PET)、顯示材料(液晶、OLED、LCOS)、醫療材料等領域,極大提升生產效率。該設備2016年開始在中國市場銷售,得到了半導體企業、大學、研究所等眾多客戶的青睞。
應用例SiO2SiN膜的膜厚測量
半導體晶體管通過控制電流的狀態來傳輸信號,為了防止電流泄露或者另一個晶體管的電流擅自進入電路中,需要在晶體管之間嵌入一層絕緣膜,使其相互隔離。絕緣膜會使用SiO2(二氧化硅)和SiN(氮化硅)。SiO2作為絕緣膜,SiN是比SiO2擁有更高介電常數的絕緣膜,并且在用CMP去除不需要的SiO2時可以作為擋板。之后SiN也可以被去除。因為,需要測量它們的厚度,以了解它們作為電介質薄膜的性能和準確的工藝控制。
關于我們
大塚電子株式會社是以光技術為核心的檢測儀器公司,從事用于開發、制造以及銷售醫療、計測、理化領域的儀器和設備。大塚電子(蘇州)有限公司是2007年在華成立的機構,從事儀器銷售及技術支持。在過去的15年里,我們為液晶面板本土化制造提供光學測量設備支持。而今我們繼續為納米制造、半導體國產化貢獻自己的力量。