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落后日本20年？半導體制造裝置用精密陶瓷
【編者前言】按照目前的國際環境發展趨勢，無論從成本還是從半導體生產安全性考慮，未來半導體設備中陶瓷零部件必須實現本土生產采購。半導體設備與材料產業的迫切需求會推動半導體裝備用陶瓷零部件的研發與生產。【詳細】
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