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日本ULVAC公司目前生產的射頻RF電源RFS-N系列，

包括RFS-1305N輸出500W，RFS-1310N輸出1KW兩種.

頻率為13.56MHz.配備高效RF放大器，小型化輕量化.

內藏有自動匹配控制，通過分體式操作面板，

既可控制功率輸出及匹配.自動計算異常反射CUT時間，快速遮斷電弧重啟.

特長:

1.采用頻率13.56MHz高效放大器.通過高效功率變換電路節省能源.

2.通過高速匹配步進電機控制變速.

3.RF電源內藏自動匹配控制，通過一個標配控制器既可操作控制電源及匹配器.

4.高速自動匹配，速度快.可匹配覆蓋范圍廣.

5.平穩實現外部模擬控制，串行通信控制.電源本體與觸摸屏呈分體式

6.兩臺同時工作時，可三百六十度調整相位.

7.強制空冷.

參數:

射頻電源本體

型號RFS-1305NRFS-1310N

輸入AC180V~240V單相AC180V~240V單相

輸入容量1.2kVA以下2.0kVA以下

振動頻率13.56MHz±0.05%13.56MHz±0.05%

**進行波輸出500W1000W

**反射波電力100W100W

線性額定輸出±2%以下額定輸出±2%以下

外形尺寸240Wx500Dx150H240Wx500Dx150H

質量12kg以下12kg以下

匹配器

型號MBX-1305NMBX-1301N

電大允許電力500W1000W

輸出阻抗R:0.5Ω≦R≦10.0ΩR:0.5Ω≦R≦10.0Ω

冷卻方式強制空冷強制空冷

外形尺寸375Wx250Dx170D375Wx250Dx170D

質量10kg10kg

耐電流40A40A

耐電壓2.5kV(0-peak)2.5kV(0-peak)