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EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級技術(shù)與帶來額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2 抽速**可達(dá) 66ls-1。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級泵。功能和優(yōu)勢通過板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動、智能冷卻風(fēng)扇和自動排氣選件。與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個或多個真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。并行或串行接口。并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號界面。串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：排氣閥控制設(shè)置運(yùn)行速度指示待機(jī)運(yùn)行速度可編程功率設(shè)置功耗泵/控制器溫度標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。用于清潔泵、減少振動和**程度降低磨損的永磁上軸承。手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。 Holweck 分級實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力容差。氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。技術(shù)數(shù)據(jù)入口法蘭 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)壓縮比 N2 >1 × 1011He 1 x 106H2 5 x 104極限壓力 (mbar) 帶有 RV 前級泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10帶有隔膜前級泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9出口法蘭 DN16NW推薦前級泵* RV5/nXDS5i排氣口 1/8 英寸 BSP吹掃口 1/8 英寸 BSP**連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）? 水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） 2 × 10-2 mbar強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 1 × 10-2 mbar泵旋轉(zhuǎn)速度 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 90000 rpm待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 （63000 rpm 默認(rèn)）可編程功率限制設(shè)置 可在 50 至 120 W 之間變化（默認(rèn)為 80 W）到 90% 速度的啟動時間 110 s ?模擬輸出 轉(zhuǎn)速；功耗；泵溫度；控制器溫度冷卻方法# 強(qiáng)制空氣/水強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 5 - 35 °C*小冷卻水流速（15 °C 的水） 15 l h-1水溫范圍 10 - 20 °C**入口法蘭溫度 100 °C操作姿態(tài) 垂直且豎直，直到 水平1 米處的噪音級別 <50 dB(A)泵可以承受的**磁場 5 mT推薦控制器 TIC100 分子泵和儀器控制器靜止電功率 10 W