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生長操作器和制備臺UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主擋板可選。操作器可以xyz三個方向運動。樣品托集成在操作器上。可適用于氨氣、氧氣等腐蝕性環境。
●磁耦合旋轉
●旋轉精度高
●氧環境下兼容可選
●氨環境下兼容可選
●襯底加熱溫度可達1，400 oC
X-Y方向移動
精度0.001
重復性0.001
反沖 0
移動行程+/-0.5’’
Z方向移動
精度1mm 或1/32比例
重復性1mm 或1/32比例
反沖0
行程4.0’’
水平旋轉
精度1.25o
反沖<1 o
持續360 o旋轉
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移動端
工商已核實
