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SVT工藝監控儀AccuFlux
SVT工藝監控儀AccuFlux

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美國

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美國SVTA公司中國辦事處

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AccuFlux 工藝監控儀是非侵入式在線束流監控儀并配有原子吸收譜儀。利用各元素特定的照射燈,AccuFlux 還可測量固態源及氣態源的氣相束流密度。此監控儀可同時監控4種材料。獨特的光學和電子設計,使速率精度<0.002nm/sAccuFlux 具有自參考和自對準功能,即使儀器出現移位也不會影響監測。

AccuFlux 工藝監控儀可用在MBEMOCVD上測量絕大多數材料。遠程控制裝置做為可選部件,是生產型應用的理想選擇。此裝置可提供擋板及源控制的信息實時反饋。不論生長設備上源(cell)的結構設計是線型還是共焦型,AccuFlux都可以使用。每種材料具有獨特的光源,因此該監控儀可在過壓環境下使用,例如GaAsCIGS及氧化物的生長。

創新的光學設計,能夠檢測速率*低為0.002nm/s

針對各元素的高強度燈源

可對固態及氣態源進行束流監控

遠程控制可選,能夠實現閉環控制

可以同時監控4種材料

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