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▼概要
MSV-5000系列是測量紫外區域到近紅外區域廣范圍波長領域內的微小樣品以及微小部位的透過?反射測量的顯微分光系統。廣泛應用于電子元件的透過?反射特性的評價、半導體的能隙測量，計測膜厚、功能性結晶光學特性評價、色彩分析等領域。
◆特點
可以測量從紫外區域到近紅外區域連續的透過?反射光譜*1 搭載具有高波長分辨率和波長準確性的單色器 雙光束光學系統優異的測光穩定性測量領域尺寸*小φ10μm *2樣品觀測采用高解像度照相機畫像標配偏光測量功能
搭載自動XYZ樣品臺（選項）映射測量?多點測量JASCO光譜管理器實現簡單輕松的操作環境
*1. MSV-5200/5300
*2. *小可測量尺寸根據測量條件?測量樣品而不同。
▼規格
▼MSV-5000
機種名 | MSV-5100 | MSV-5200 | MSV-5300 |
分光器部 | 車爾尼特納光學系統單單色器 雙光速方式 | ||
光源 | 30W氘燈、 20W鹵素燈 | ||
測量波長范圍 | 200～900nm | 200～2700nm | 200～1600nm |
檢測器 | 光電子倍增管 | 光電子倍増管、冷卻型PbS光導電素子 | 光電子倍増管、冷卻型InGaAs光電二級管 |
測光方式 | 透過?反射測量 | ||
觀察 | 高解像度照相機、光學放縮、內置ATOS、照明：LED | ||
物鏡 | 対物卡塞格林鏡、10倍、16倍、32倍、可選其一 | ||
集光鏡 | 集光卡塞格林鏡、10倍、16倍、32倍、可選、集光鏡自動調節功能 | ||
樣品臺 | 手動臺、自動XYZ臺（選項）、控制桿（選項） | ||
軟件 | JASCO光譜管理器 Ver.2.0 | ||
対應OS | Microsoft Windows7 Professional | ||
標準程序 | 顯微光譜測量（點測量、顯微畫像保存）、顯微光譜解析 | ||
自動控制XYZ樣品臺 | 樣品臺移動、區域映射、線測量、多點測量、顯微固定波長成像測量、自動聚焦、多通道畫像 | ||
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