生產能力：
-加料機類型：
其他空氣速度：
-輸送能力：
-輸送距離：
-工作原理：
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設備的應用及特點：
本設備采用水平流片的方式，無插拔，無劃傷，適合210mm大硅片生產，能幫助客戶提高電池良率。
拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統為在線式全自動上下料設備，具備AGV對接和MES等選配功能。
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