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功能

本設(shè)備主要用于不銹鋼、鈦合金、硬質(zhì)合金、有色金屬等材料的真空熱處理，也適用于工具鋼、模具鋼等合金鋼的退火等金屬材料熱處理及真空燒結(jié)，金屬材料的高溫真空釬焊，半導(dǎo)體模組真空封裝等 

重要參數(shù)

• 裝料量：>200Kg（可定制）

• 有效加熱區(qū)尺寸： ≥400×400×600（W×H×L）mm（可定制）

• 控溫精度： ≤±1℃

• **加熱溫度：1350℃

裝卸片方式

單室、臥式、金屬反應(yīng)腔體 

優(yōu)勢

• 水平載片：爐體采用螺旋水冷夾套設(shè)計，有效兼顧熱場冷卻功能和溫度均勻性

• 采用金屬加熱與多屏蔽層設(shè)計

• 獨(dú)立三溫區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效保證反應(yīng)腔室控溫精度

• 可應(yīng)用于真空排膠和多種氣氛及分壓工藝處理場合

• 設(shè)備維護(hù)方便和可操作性高