功率（kw）：
-重量（kg）：
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產品簡介：
EVG 820是一款自動晶圓貼膠膜與對準系統，適用于采用膠帶的臨時鍵合與預對準。
主要特點及參數：
·**可適用于12寸（300mm）晶圓
·可作為模組集成于EVG850TB臨時鍵合設備中
·地側保護膜剝離
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