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高真空硬碳膜制備系統--FHL600品牌
沈陽科學儀器產地
遼寧樣本
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真空室結構:
圓筒形上升蓋
真空室尺寸:
φ600×500mm
極限真空度:
≤6.0E-4Pa
沉積源:
樣品尺寸，溫度:
φ240mm，1片，水冷卻
占地面積（長x寬x高）:
約3米×1.1米x2米
電控描述:
全自動
工藝:
提供標準鍍膜工藝
特色參數 :
1路工作氣路，2路備用氣路
產品概述：
本系統為單室立式結構的高真空鍍鍍膜設備，可用于開發單層膜-類金剛石膜等。系統主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、樣品轉臺、泵抽系統、真空測量系統、氣路系統、電控系統、加熱控溫系統、水冷卻系統等組成。
設備用途：
可用于開發類金剛石膜等
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