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| 適用工件： (Applicable parts) | 6"*1花籃，8"*1 pc花籃 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量產能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 上料(手動)→超聲堿性槽→HQDR槽→下料(手動) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304+PP乳白板，槽體采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 運送方式： (Transportation) | 手動傳送 (Manual) |
| 節拍時間： (Step time) | 依工藝可調 (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除晶圓片表面的殘余拋光液和大顆粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他說明： (Others) | 設備可以根據客戶要求定制手動/半自動 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 適用工件： (Applicable parts) | 6"*1花籃，8"*1 pc花籃 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量產能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 上料(手動)→超聲堿性槽→HQDR槽→下料(手動) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304+PP乳白板，槽體采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 運送方式： (Transportation) | 手動傳送 (Manual) |
| 節拍時間： (Step time) | 依工藝可調 (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除晶圓片表面的殘余拋光液和大顆粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他說明： (Others) | 設備可以根據客戶要求定制手動/半自動 (Customized:Semiautomatic or manual) |
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