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飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）品牌
大族半導體產地
廣東樣本
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主要特點：
設備特點：
1、國內率先導入TGV工業量產
2、加工直徑**12’’、厚度≤1mm
3、高性能、高可靠性飛秒激光
4、高性能控制系統，實現高效率高精度加工能力
5、搭載自主研發光學模組，適應多種材料，孔圓度≥95%
6、多種軌跡生成與加工方式，智能化人機交互
主要參數:
| 主要參數 | 加工尺寸 | ≤205*205mm |
| 加工速度 | 80-120mm/s | |
| 加工精度 | ±5μm | |
| 平臺參數 | 400mm*250mm | |
| 激光器參數 | 20W IR PS | |
| Tact time | 效率：≥650個/S | |
| 稼動率 | 0.98 | |
| 良率 | >98% |
加工效果：
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