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鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
知常光電產(chǎn)地
安徽樣本
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產(chǎn)品介紹
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN),是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型,可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷,對(duì)晶圓的質(zhì)量控制具有重要作用。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-LN)集成明場(chǎng)、暗場(chǎng)等多種檢測(cè)模式,對(duì)各類缺陷提供可靠的缺陷信息,結(jié)合缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類算法,提取包括缺陷類型、尺寸、坐標(biāo)、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等在內(nèi)的各頂缺陷數(shù)據(jù),生成晶圓缺陷檢測(cè)報(bào)告,供用戶進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估和判定。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測(cè)設(shè)備 | |
型號(hào) | NOVA-2000-LN/LT |
晶圓類型 | 鈮(鉭)酸鋰拋光襯底,黑化、半黑化、全透明等 |
晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
檢測(cè)方式 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng) |
產(chǎn)率 | ≥20WPH(@6英寸晶圓,分辨率1μm) |
≥12WPH(@8英寸晶圓,分辨率1μm) | |
自動(dòng)化 | 2 LoadPort |
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