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| 亞表面缺陷檢測儀 | |
| 型號 | SSDI-2000 |
| 檢測靈敏度 | ≤200nm |
| 橫向分辨率 | ≤300nm |
| 縱向分辨率 | ≤1μm |
| **樣品尺寸 | 100mm x 100mm,或根據客戶需求定制 |
*注：可根據用戶需求，提供同類特制系統。
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