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深紫外光學吸收測量儀(PTS-DUV-2000/PTB-DUV-2000)，是一款基于激光誘導光熱檢測技術，專為深紫外波段光學材料和元件吸收特性檢測分析而開發的高靈敏度精密光學測試儀器。
PTS-DUV-2000適用于各類深紫外波段光學薄膜和光學材料表面吸收特性的檢測和分析，包括表面吸收率測量、表面吸收均勻性分布測試、吸收缺陷檢測分析、激光輻照下的吸收穩定性監測等。
PTB-DUV-2000適用于各類深紫外波段光學元器件及材料體內吸收特性的檢測和分析，包括材料體吸收系數測量、體內吸收均勻性分布測試、體吸收缺陷檢測分析等。
典型的應用對象為:光學薄膜、光學玻璃、晶體材料、光學陶瓷、半導體晶圓。
| 深紫外光學吸收測量儀 | ||
| 型號 | PTS-DUV-2000 | PTB-DUV-2000 |
| 檢測功能 | 表面吸收 | 表面吸收、體吸收 |
| 檢測模式 | 反射式、透射式 | 反射式、透射式 |
| **吸收檢測靈敏度 | ≤0.1ppm | |
| 檢測波長 | 266nm或其他深紫外定制波長 | |
| **掃描空間分辨率 | ≤1μm | |
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