非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
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晶片尺寸:4/6/8英寸
Nafer size: 4/6/8 inches
ウェーハサイズ：4/６/８インチ
制程溫度范圍:300-2200℃
Maximum heater temperature: 2200℃
プロセス溫度範囲：300-2200℃
加熱器**溫度:2200℃
Maximum heater temperature: 2200℃
ヒーター**溫度：2200℃
控溫段數:多段控溫
Number of temperature control sections:
multisections temperature control
溫度制御セクション數：多段階溫度制御
爐腔壓力:10MPa(**)
Chamber pressure:10MPa(Maximum)
爐室圧力：10MPa(**)
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