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特長
非接觸式測量不透明、粗糙，易變形的樣品
反復性?再現性高
無標準曲線也可知道**厚度
測量徑很小，不受斑點的影響
樣品位置無需調整，放進去即可。
穩定性高，不會產生誤差，所以誰都能操作。
光學方式原理所以安全
式樣
構成圖?原理
構成圖
任何人都會測量
原理
將光分別照射樣品上下部
測量距離基準面的距離。
d=dall-(d1+d2)
比較測量方法
樣品例子和測量方法的比較
| 非接觸光學膜厚儀 | 接觸式膜厚儀 | X線式膜厚儀 | 変位計 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 樣品 | 凝膠片 | ○ | × | ○ | ○ |
| 不織布 | ○ | × | ○ | × | |
| 金屬板 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 樹脂 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 多孔質 | ○ | △ | ○ | × | |
| 陶瓷 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 紙?木 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 測量 條 件 | 測量時間 | ○ 高速 | ○ | ○ | ○ |
| 非接觸測量 | ○ 非接觸 | × | ○ | ○ | |
| 前處理 | ○ 不要 | ○ | × | ○ | |
測量案例
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