長(zhǎng)行程壓電納米位移臺(tái)XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡(jiǎn)單，定位準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，XYMF-133-100A平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制。

應(yīng)用案例

1、電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)

2、半導(dǎo)體芯片檢測(cè)

3、光刻機(jī)工件臺(tái)

4、微生物操縱手

5、光纖焊接