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干式液氦溫區探針臺產品特點

1、真空腔體：真空度優于6×10-4 Pa。降溫后優于6×10-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2、探針控制：標配6個探針臂。調節范圍110mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3、顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

4、變溫樣品臺：直徑標配50mm，可選配150mm。變溫范圍：6K~400K。控溫穩定性優于±0.01 K;

5、可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

6、系統直流漏電低于1pA;

7、產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。