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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。

該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此在連續(xù)操作下也非常可靠。它為每個(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止無可比擬的。例如，在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)，對10000個(gè)晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)評估，結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)行的生產(chǎn)過程中，MDPinline可以立即檢測到某個(gè)處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達(dá)到**的性能。

Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon Microcrystalline inclusions Investigation of passivation quality... Cz-Si with bulk defects， separation...

優(yōu)勢

1. 在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，可對一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

2. 在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

3. 適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。

4. 適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

   Multicrystalline silicon wafers

其它細(xì)節(jié)

• 允許單片控制

• 參數(shù)自動(dòng)設(shè)置，預(yù)定義的排序菜單

• 多達(dá)15個(gè)質(zhì)量等級的晶圓片自動(dòng)分揀

• 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

• 快速提升工藝和生產(chǎn)線