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CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備品牌
威泰科技產(chǎn)地
沈陽樣本
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CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備詳情
CVD設(shè)備適用于熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石，采用鎢絲/鉭絲作為加熱器，加熱分解碳物質(zhì)，激活化學(xué)氣相反應(yīng)，制備金剛石膜。
安裝形式 | 立式 |
加熱器分布方式 | 圓周分布 |
加熱器材質(zhì) | 鎢絲/鉭絲 |
保溫材料 | — |
MAX溫度 | 3000℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
均溫性 | ±5℃ |
極限真空度 | 5×10-4Pa |
均溫區(qū)尺寸 | 按客戶要求定制 |
控制方式 | 自動/手動 |
暫無數(shù)據(jù)！
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