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型號：IBSH-1030 特點： 1、基板水平放置，垂直監控； 2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 | 工藝參數： 一，真空系統 1、極限真空度：4.0×10-5Pa 2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘 3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec 二，控制精度 1、靶材旋轉：0.005° 2、工件旋轉:<1000RPM 3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板：0.005° 5、擋板: position switch 三，光學監控系統OMS 1、波長范圍：380nm～1650nm 2、光源穩定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% 3、波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm 4、波長準確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
型號：IBSH-1030 特點： 1、基板水平放置，垂直監控； 2、靶材左右移動，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監控。 6、無膜厚分布修正板 | 工藝參數： 一，真空系統 1、極限真空度：4.0×10-5Pa 2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘 3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec 二，控制精度 1、靶材旋轉：0.005° 2、工件旋轉: <1000RPM 3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板：0.005° 5、擋板: position switch 三，光學監控系統OMS 1、波長范圍：380nm～1650nm 2、光源穩定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% 3、波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm 4、波長準確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
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