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4~8英寸碳化硅外延
4~8英寸碳化硅外延

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型號

4~8英寸碳化硅外延

品牌

華創晶瑞

產地

江蘇

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暫無
杭州華創晶瑞科技有限公司

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低缺陷密度控制技術  

技術團隊依靠多年的外延工藝經驗和現階段的技術開發,不斷優化和迭代自有碳化硅外延技術,同時針對不同廠家的襯底進行開發,在不同廠家的襯底進行的外延生長均能實現低缺陷密度,為器件的可靠性提供有力的保障。

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技術團隊經過一系列的工藝優化和設備改造升級,碳化硅外延片的外延層厚度不均勻性可<0.5%,外延層載流子濃度不均勻性可<1.5%。

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已經采用雙激光掃描缺陷檢測設備,除了精準檢測晶體表面的形貌缺陷外,對于材料內部的晶格缺陷也能精確掃描和檢測。

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